|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-6929
Автор(ы) : Добрынин А.В.
Заглавие : Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.06
Выходные данные : М., 2001 Колич.характеристики :34 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 32-34(38 назв.)
ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592-416.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|