Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-6929 Автор(ы) : Добрынин А.В. Заглавие : Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.06 Выходные данные : М., 2001 Колич.характеристики :34 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 32-34(38 назв.) ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)