Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-6279 Автор(ы) : Грунский Д.И. Заглавие : Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 Выходные данные : Минск, 2001 Колич.характеристики :21 с.: ил. Примечания : В надзаг.: Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники. Библиогр.: с. 17-18(16 назв.) ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)