|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-6279
Автор(ы) : Грунский Д.И.
Заглавие : Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06
Выходные данные : Минск, 2001 Колич.характеристики :21 с.:
ил.
Примечания : В надзаг.: Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники. Библиогр.: с. 17-18(16 назв.)
ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592-416.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|