Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-6199 Автор(ы) : Вотинцева Е.Е. Заглавие : Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.27.06 Выходные данные : М., 2000 Колич.характеристики :17 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 16-17(5 назв.) ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)