|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-6199
Автор(ы) : Вотинцева Е.Е.
Заглавие : Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.27.06
Выходные данные : М., 2000 Колич.характеристики :17 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 16-17(5 назв.)
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|