|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-934
Автор(ы) : Матюшкин И.В.
Заглавие : Математическое моделирование технологических процессов на примере автоэпитаксии кремния
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.18
Выходные данные : Долгопрудный, 2000 Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 14-16(17 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592-416.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|