Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР01-934 Автор(ы) : Матюшкин И.В. Заглавие : Математическое моделирование технологических процессов на примере автоэпитаксии кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 Выходные данные : Долгопрудный, 2000 Колич.характеристики :16 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с. 14-16(17 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592-416.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)