Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР00-6211 Автор(ы) : Царегородцев А.В. Заглавие : Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.01 Выходные данные : М., 1999 Колич.характеристики :16 с. Примечания : Библиогр.:с. 15-16(10 назв.) ГРНТИ : 55.22.19 УДК : 621.793.184(043) + 621.793.74(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)