Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР00-3802 Автор(ы) : Магурин В.Г. Заглавие : Лазерная дифрактометрия дефекта контура микроотверстия : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук: 05.27.03 Выходные данные : СПб, 2000 Колич.характеристики :22 с.: ил. Примечания : В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.:с. 22(7 назв.) ГРНТИ : 59.31.29 УДК : 681.786.23(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)