Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-14677 Автор(ы) : Щапова И.А. Заглавие : Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 Выходные данные : М., 1991 Колич.характеристики :15 с. Примечания : В надзаг.: Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. Библиогр.: с. 14-15(9 назв.). ГРНТИ : 47.33.37 УДК : 621.3.049.76.001.4(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)