Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР00-284 Автор(ы) : Угаров М.В. Заглавие : Лазерное осаждение пленок нитридов бора и углерода из газовой фазы : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.21 Выходные данные : М., 1999 Колич.характеристики :23 с. Примечания : В надзаг. :Рос.АН. Центр естественно-науч. исследований Ин-та обющей физики. Библиогр.:с. 22-23(11 назв.) ГРНТИ : 31.17.15 УДК : 546.27'171.1.03:539.216.2(043) + 546.26.03:539.216.2(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)