Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР00-150 Автор(ы) : Тыщишин В.В. Заглавие : Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 Выходные данные : М., 1999 Колич.характеристики :21 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с. 20-21(12 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.77.004.6(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)