|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР00-150
Автор(ы) : Тыщишин В.В.
Заглавие : Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса)
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07
Выходные данные : М., 1999 Колич.характеристики :21 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 20-21(12 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.77.004.6(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|