Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР99-7148 Автор(ы) : Попов А.А. Заглавие : Низкочастотный тлеющий разряд и механизмы роста в нем пленок а-Si:H и сплавов на его основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 Выходные данные : М., 1999 Колич.характеристики :28 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с. 24-28 (31 назв.) ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.315.592-416.002(043) + 621.383.51.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)