Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР99-сф194 Автор(ы) : Чуканов С.В. Заглавие : Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 Выходные данные : М., 1999 Колич.характеристики :24 с. Примечания : В надзаг. :Моск. гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т). Библиогр.:с. 24(5 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :сф(1) Свободны : сф(1)