Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР99-сф92 Автор(ы) : Мармалюк А.А. Заглавие : Исследование и разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии нитрида галлия : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 Выходные данные : М., 1998 Колич.характеристики :24 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с. 21-24 ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592-416.002(043) + 621.383.52.002(043) Экземпляры :сф(1) Свободны : сф(1)