Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР99-3484 Автор(ы) : Парбуков А.Н. Заглавие : Исследование свойств наноструктурированного пористого кремния и применение его в технологии микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 Выходные данные : М., 1998 Колич.характеристики :18 с. Примечания : В надзаг. :Гос. НИИ физических проблем им.Ф.В.Лукина. Библиогр.:с. 17-18(11 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592(043) + 621.3.049.76.002.3(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)