Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР97-2756 Автор(ы) : Лебедев С.В. Заглавие : Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 Выходные данные : М., 1997 Колич.характеристики :21 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с. 21(8 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.048(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)