Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР97-1274 Автор(ы) : Чукалина М.В. Заглавие : Реконструкция микрорельефа поверхности и состава приповерхностных слоев объектов микроэлектроники по рентгенофлуоресцентному сигналу : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 Выходные данные : Черноголовка, 1997 Колич.характеристики :20 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с.19-20 (11 назв.) ГРНТИ : 47.33.37 + 47.13.81 УДК : 621.3.049.76.001.4(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)