Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР97-054 Автор(ы) : Сырчин В.К. Заглавие : Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 Выходные данные : М., 1997 Колич.характеристики :41 с.ил. Примечания : Библиогр.:с. 36-40(46 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)