Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-4214 Автор(ы) : Авгуцевич Б.И. Заглавие : Разработка радиоволнового метода и средств многопараметрового технологисченского контроля полупроводниковых эпитаксиальных структур радиотехнических устройств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 Выходные данные : Л., 1991 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : В надзаг.: Ленингр.ин-т авиац.приборостроения. Библиогр.: с. 16-18(19назв.). ГРНТИ : 47.61.35 УДК : 621.396.6.002:658.562(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)