|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-4214
Автор(ы) : Авгуцевич Б.И.
Заглавие : Разработка радиоволнового метода и средств многопараметрового технологисченского контроля полупроводниковых эпитаксиальных структур радиотехнических устройств
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13
Выходные данные : Л., 1991 Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : В надзаг.: Ленингр.ин-т авиац.приборостроения. Библиогр.: с. 16-18(19назв.).
ГРНТИ : 47.61.35 УДК : 621.396.6.002:658.562(043)
Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)
|
|