Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-4207 Автор(ы) : Салмин П.Н. Заглавие : Разработка сигнатурного метода и средств технологического контроля изображений топологии акустоэлектронных устройств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 Выходные данные : Л., 1991 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : В надзаг.: Ленингр.ин-т авиац.приборостроения. Библиогр.: с. 20-22(19назв.). ГРНТИ : 29.37.25 УДК : 681.89.002:658.562(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)