|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-3890
Автор(ы) : Марущенко С.Г.
Заглавие : Исследование методов и разработка алгоритмов обработки электронно-микроскопических изображений с целью диагностики микроэлектронных приборов
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07
Выходные данные : Л., 1991 Колич.характеристики :15 с
Примечания : В надзаг.: Ленингр.электротехн.ин-т им.В.И.Ульянова(Ленина). Библиогр.: с. 15(6назв.).
ГРНТИ : 47.33.37 УДК : 621.3.049.76.001.4(043)
Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)
|
|