Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-3890 Автор(ы) : Марущенко С.Г. Заглавие : Исследование методов и разработка алгоритмов обработки электронно-микроскопических изображений с целью диагностики микроэлектронных приборов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 Выходные данные : Л., 1991 Колич.характеристики :15 с Примечания : В надзаг.: Ленингр.электротехн.ин-т им.В.И.Ульянова(Ленина). Библиогр.: с. 15(6назв.). ГРНТИ : 47.33.37 УДК : 621.3.049.76.001.4(043) Экземпляры :ХР(1), (2) Свободны : ХР(1)