Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР96-3095 Автор(ы) : Дремова Н.Н. Заглавие : Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 Выходные данные : Черноголовка, 1996 Колич.характеристики :16 с. Примечания : Библиогр.:с. 13-16(19 назв.) ГРНТИ : 47.33.37 УДК : 621.3.049.76.001.4(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)