Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР96-2974 Автор(ы) : Афанасьева С.В. Заглавие : Макрокинетика газофазного синтеза многослойных Si-N-C-покрытий : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.17 Выходные данные : Черноголовка, 1996 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.:с. с.17-18 (10 назв.) ГРНТИ : 55.22.23 УДК : 620.197.6:666.76(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)