Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР95-1957 Автор(ы) : Сунь Чанку Заглавие : Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 Выходные данные : СПб, 1994 Колич.характеристики :17 с.: ил Примечания : В надзаг.: Санкт-Петербург.гос.ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.: с.17 (2 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)