Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар15-1554 Автор(ы) : Пауткин В.Е. Заглавие : Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 Выходные данные : Пенза, 2014 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 19-22 (28 назв.) ГРНТИ : 59.31.31 УДК : 531.768(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометры--температурный диапазон Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)