Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-15182 Автор(ы) : Метлицкая А.В. Заглавие : Моделирование процессов самоорганизации наноструктур при ионном распылении поверхности полупроводников : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.13.18 Выходные данные : Ярославль, 2014 Колич.характеристики :30 с. Примечания : Библиогр.: с. 27-30 ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:539.216.2(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): угол бомбардировки--время распыления--формы и размеры растра Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)