Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-10226 Автор(ы) : Йе Тун Тэйн Заглавие : Методы управления режимами диффузионных установок и контроля качества топологий в микро и наноэлектронике : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 Выходные данные : М., 2014 Колич.характеристики :24 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 22-23 (14 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 + 47.01.81 УДК : 621.3.049.76-047.84(043) + 621.384-022.532-047.84(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--наноэлектронные устройства--производство--технический контроль Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)