Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-8048 Автор(ы) : Хуинь Конг Ту Заглавие : Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний - диоксид кремния : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.03 Выходные данные : СПб., 2014 Колич.характеристики :23 с. Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (21 назв.) ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.315.592.9:621.373.826(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--обработка лазерная Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)