|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-8048
Автор(ы) : Хуинь Конг Ту
Заглавие : Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний - диоксид кремния
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.03
Выходные данные : СПб., 2014 Колич.характеристики :23 с.
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (21 назв.)
ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.315.592.9:621.373.826(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--обработка лазерная
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|