Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-7265 Автор(ы) : Карташов Д.А. Заглавие : Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 Выходные данные : М., 2014 Колич.характеристики :26 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 22-26 ГРНТИ : 47.01.81 УДК : 621.3.049.76-047.84(043) + 621.38-022.532(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--наноэлектроника--производство--технический контроль Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)