Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-5241 Автор(ы) : Неклюдова П.А. Заглавие : Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 Выходные данные : Москва, 2013 Колич.характеристики :24 с. Примечания : Библиогр.: с. 22-24 ГРНТИ : 29.27.43 УДК : 533.9(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): разряды низкого давления--аргон--криптон Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)