Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-4574 Автор(ы) : Завалишин М.А. Заглавие : Физические и технологические основы получения систем эпитаксиальных нитевидных кристаллов кремния : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Выходные данные : Курск, 2014 Колич.характеристики :20 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 18-20 (16 назв.) ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые материалы--микросхемы--охлаждение Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)