|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-4574
Автор(ы) : Завалишин М.А.
Заглавие : Физические и технологические основы получения систем эпитаксиальных нитевидных кристаллов кремния
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
Выходные данные : Курск, 2014 Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-20 (16 назв.)
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые материалы--микросхемы--охлаждение
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|