|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-3711
Автор(ы) : Безбабный Д.А.
Заглавие : Исследование формирования, структуры и свойств пленок полупроводниковых силицидов кальция на Si(111)
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : Владивосток, 2014 Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-18
ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.315.592.9(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|