Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар14-3711 Автор(ы) : Безбабный Д.А. Заглавие : Исследование формирования, структуры и свойств пленок полупроводниковых силицидов кальция на Si(111) : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : Владивосток, 2014 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 16-18 ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.315.592.9(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)