Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-14656 Автор(ы) : Фадеев А.Ю. Заглавие : Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : СПб., 2013 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дефектная структура--дефекты упаковки--морфология Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)