|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-14656
Автор(ы) : Фадеев А.Ю.
Заглавие : Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : СПб., 2013 Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 17-18
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дефектная структура--дефекты упаковки--морфология
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|