Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-16238 Автор(ы) : Спирин Д.Е. Заглавие : Особенности электронно-энергетической и атомной структуры и фотолюминесценции пленок SiOx имплантированных углеродом : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : Воронеж, 2013 Колич.характеристики :16 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (12 назв.) ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.315.592.9(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--отжиг--фазовый состав--электронное строение--фотолюминесценция Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)