|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-11992
Автор(ы) : Лебедев А.О.
Заглавие : Рост и дефектообразование монокристаллов полупроводникового карбида кремния, выращенного по методу ЛЭТИ
: автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : СПб., 2013 Колич.характеристики :35 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 32-35
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) + 537.311.322:548.4(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): карбид кремния--кристаллизация--кристаллы--дефекты
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|