Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-11992 Автор(ы) : Лебедев А.О. Заглавие : Рост и дефектообразование монокристаллов полупроводникового карбида кремния, выращенного по методу ЛЭТИ : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : СПб., 2013 Колич.характеристики :35 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 32-35 ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) + 537.311.322:548.4(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): карбид кремния--кристаллизация--кристаллы--дефекты Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)