|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-11548
Автор(ы) : Смыслова Т.Н.
Заглавие : Особенности взаимодействия молекулярных пучков с поверхностью кремния в условиях выращивания слоев методом вакуумной химической эпитаксии
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : Н.Новгород, 2013 Колич.характеристики :25 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 20-5
ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592.9-047.56(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--вакуумная химическая эпитаксия
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|