Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-11548 Автор(ы) : Смыслова Т.Н. Заглавие : Особенности взаимодействия молекулярных пучков с поверхностью кремния в условиях выращивания слоев методом вакуумной химической эпитаксии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : Н.Новгород, 2013 Колич.характеристики :25 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 20-5 ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592.9-047.56(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--вакуумная химическая эпитаксия Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)