Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-11387 Автор(ы) : Шемухин А.А. Заглавие : Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.20 Выходные данные : М., 2013 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592.9-047.56(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры--производство Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)