Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-2811 Автор(ы) : Вальковский Г.А. Заглавие : Исследование структуры интерфейсов многослойных систем методами малоугольного рентгеновского рассеяния : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Выходные данные : СПб., 2013 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ : 47.01.81 УДК : 621.3.049.76:620.179.15(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--многослойные системы--неразрушающие методы исследования Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)