|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-2811
Автор(ы) : Вальковский Г.А.
Заглавие : Исследование структуры интерфейсов многослойных систем методами малоугольного рентгеновского рассеяния
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
Выходные данные : СПб., 2013 Колич.характеристики :18 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 17-18
ГРНТИ : 47.01.81 УДК : 621.3.049.76:620.179.15(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--многослойные системы--неразрушающие методы исследования
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|