Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар13-2508 Автор(ы) : Шабельникова Я.Л. Заглавие : Анализ ключевых характеристик методов локальной диагностики полупроводников - метода наведенного рентгеновским пучком тока и рентгеновского флуоресцентного метода : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07, 05.27.01 Выходные данные : М., 2013 Колич.характеристики :26 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 24-26 (15 назв.) ГРНТИ : 47.01.81 УДК : 621.382:620.179(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые приборы--микроэлектроника--дефектоскопия Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)