Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар12-16870 Автор(ы) : Родякина Е.Е. Заглавие : Морфология поверхности кремния при закалке и сублимации : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Выходные данные : Новосибирск, 2012 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ : 31.17.15 УДК : 546.28:541.183(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний--поверхностные явления--собственные точечные дефекты--эпитаксиальные технологии Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)