Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар12-16303 Автор(ы) : Корчагина Т.Т. Заглавие : Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : Новосибирск, 2012 Колич.характеристики :17 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 16-17 ГРНТИ : 47.09.31 + 47.13.35 УДК : 621.315.61-416(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диэлектрические пленки--лазерная обработка--формирование нанокластеров кремния--наноэлектроника--оптоэлектроника Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)