Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар12-14659 Автор(ы) : Хлызов В.А. Заглавие : Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 Выходные данные : М., 2012 Колич.характеристики :19 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 19 (5 назв.) ГРНТИ : 47.13.35 + 50.10.29 УДК : 621.382-047.84(043) + 004.353'1(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--оптоэлектроника--технология лазерного управляемого термораскалывания--кремниевые пластины--разделение на чипы--стекла дисплейных панелей Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)