Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-4380
Автор(ы) : Борисова С.В.
Заглавие : Применение электронно-лучевой обработки для получения композиционных материалов на основе триацетата целлюлозы и полимерных покрытий на кварцевом стекле : автореф. дис. ... анд. техн. наук : 05.17.05
Выходные данные : СПб., 2011
Колич.характеристики :19 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 19 (7 назв.)
ГРНТИ : 61.45.31 + 61.61.01
УДК : 678.544.43.027.94-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ускоренные электроны--полимерные резисты--нанолитография
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)