Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-23490 Автор(ы) : Полищук Г.С. Заглавие : Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 Выходные данные : СПб., 2011 Колич.характеристики :21 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 21 (5 назв.). - В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.3.049.77-047.84:776(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--микроскопы--оптические системы Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)