|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-23490
Автор(ы) : Полищук Г.С.
Заглавие : Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07
Выходные данные : СПб., 2011 Колич.характеристики :21 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21 (5 назв.). - В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики
ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.3.049.77-047.84:776(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--микроскопы--оптические системы
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|