Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-21103 Автор(ы) : Феклистов К.В. Заглавие : Преципитация бора в кремнии при имплантации и отжиге: расслоение на стадии оствальдовского созревания : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Выходные данные : Новосибирск, 2011 Колич.характеристики :18 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 16-18 ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.315.592:669.046.516(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний--бор--легирование--отжиг--расслоение ансамбля преципитатов--моделирование Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)