Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-19559 Автор(ы) : Гринькин Е.А. Заглавие : Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.16.09 Выходные данные : М., 2011 Колич.характеристики :22 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 22 (7 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621-181.4(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемотехника--полиимидные покрытия--регулярные поверхностные микрорельефы--пористые микроструктуры--физико-химические свойства--физико-механические свойства--эксплуатационные качества Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)