Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-18026 Автор(ы) : Усов С.П. Заглавие : Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния, модифицированного углеродом : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.04 Выходные данные : Томск, 2011 Колич.характеристики :19 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.). - В надзаг.: Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники ГРНТИ : 31.17.15 УДК : 546.28-31.03:539.216.2(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диоксид кремния--тонкие пленки--механизм формирования--примесь углерода--структура пленок--электрофизические параметры Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)