Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР10-29738 Автор(ы) : Невшупа Р.А. Заглавие : Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2010 Колич.характеристики :32 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 30-32 (37 назв.) ГРНТИ : 81.29 + 47.13.11 + 81.13.30 УДК : 621.52-192(043) + 621.384-047.56(043) + 620.3(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сверхвысоковакуумное оборудование--трибодесорбция газов--узлы трения--механические системы--электронные приборы--производство--нанотехнологии Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)