|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-11715
Автор(ы) : Стройков И.И.
Заглавие : Разработка нанокомпонентных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной технки и систем управления
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05
Выходные данные : Санкт-Петербург, 2011 Колич.характеристики :16 с.
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (8 назв.)
ГРНТИ : 50.09 УДК : 004.38'144(043) + 681.58(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вычислительная техника--автоматические системы--элементы--узлы--нанокомпозитные структуры--кремниевые подложки--наноэлектронные устройства--нанокристаллы кремния--оптические свойства
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|