|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-10614
Автор(ы) : Коломийцев А.С.
Заглавие : Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Таганрог, 2011 Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы большие--микроминиатюризация--подложки--субмикронное профилирование--фокусированные ионные пучки--элементная база--наноэлектроника--микроэлектроника--наносистемная техника
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|