Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-10614 Автор(ы) : Коломийцев А.С. Заглавие : Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Таганрог, 2011 Колич.характеристики :23 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы большие--микроминиатюризация--подложки--субмикронное профилирование--фокусированные ионные пучки--элементная база--наноэлектроника--микроэлектроника--наносистемная техника Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)