Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-8259 Автор(ы) : Гоник М.М. Заглавие : Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 Выходные данные : М., 2011 Колич.характеристики :16 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (14 назв.) ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые структуры--ростовой цикл--ростовые установки--конструкции--кристаллизация Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)