|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-8259
Автор(ы) : Гоник М.М.
Заглавие : Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06
Выходные данные : М., 2011 Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (14 назв.)
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые структуры--ростовой цикл--ростовые установки--конструкции--кристаллизация
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|