Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар11-3596 Автор(ы) : Гудкова С.А. Заглавие : Исследование структуры и свойств двух- и трекомпонентных оксидов TIxAl1-xOy, сформированных методом атомарно-слоевого осаждения : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Выходные данные : Долгопрудный, 2011 Колич.характеристики :21 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 20-21 (11т назв.) ГРНТИ : 29.19.33 УДК : 537.226:539.216.2(043) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диэлектрики--тонкие пленки--карты памяти--логические схемы--элементы--подзатворные диэлектрики--мдп-структуры Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)